Chiller氣體控溫系統(tǒng)
適用范圍
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號(hào)，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。
半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池板等設(shè)備的?產(chǎn)設(shè)施中使?的設(shè)備、?產(chǎn)流程、檢驗(yàn)流程及空間，需要?度精確和穩(wěn)定的空?處理。為了滿(mǎn)?這些需求，全區(qū)域空?處理將需要極?的相關(guān)費(fèi)?和維護(hù)成本。
機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染；可適配部分新?功能，更加?便滿(mǎn)?特殊使?環(huán)境的暖通要求，?能滿(mǎn)??藝要求；常年?作，可靠性更?。
品頁(yè)特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
精密恒溫恒濕機(jī)組（水冷）
該機(jī)組也可?在制藥?、醫(yī)院、實(shí)驗(yàn)室等?潔凈度要求且?精度溫、濕度要求的場(chǎng)所，能保持溫、濕度恒定在?個(gè)設(shè)定的范圍內(nèi)，波動(dòng)范圍很?。
1、溫度和濕度控制可適用于不同的設(shè)定溫度下，亦可以在一個(gè)固定的使用溫、濕度下恒定工作。
2、機(jī)組可以根據(jù)實(shí)際情況，配比一定的新風(fēng)量以滿(mǎn)足暖通新風(fēng)要求。
3、精密型恒溫恒濕機(jī)組使用新、回風(fēng)溫濕度范圍。
4、在最大額定工藝風(fēng)量下運(yùn)行時(shí)，送風(fēng)機(jī)出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓；也可以根據(jù)末端是否配置有FFU調(diào)整 5、40°f相當(dāng)于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50050-95 7、送風(fēng)管道必須保溫處理，現(xiàn)場(chǎng)安裝盡可能的縮短管路長(zhǎng)度， 有關(guān)可能的詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱操作手冊(cè)。
| 產(chǎn)品型號(hào) | LW-0090-BW01 | LWX-0090-BW01 | LW-0100-BW01 | LWX-0100-BW01 | |
| 額定處理風(fēng)量 | m3/h | 8000～9000 | 9000～10000 | ||
| 可設(shè)定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 22～24 | 22～23;45%RH～60%RH | 22～24 | 22～24；45%RH～70%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1%RH | / | ±1%RH |
| 最大制冷量 | kW | 20kW @25℃ | 16kW @26℃ | ||
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 5 | / | 2.3 |
| 新風(fēng)比? ② | 20% | 20% | / | / | |
| 設(shè)備新風(fēng)溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±2℃；；45%～60%±2%RH | 25℃; 45%～60%±2%RH | ||
| 設(shè)備回風(fēng)溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±0.1；45%RH ±2%RH | / | ||
| 最大機(jī)外送風(fēng)靜壓 | Pa | 300～400 | 0～200 | ||
| 送風(fēng)口接管直徑 | mm | φ500 | φ500 | ||
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10～40 | / | 10～40 |
| 加濕補(bǔ)水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補(bǔ)水壓力值 | bar | / | 1～4 | / | 1～4 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導(dǎo)電率75～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f????????? *無(wú)有機(jī)化合物 | / | *導(dǎo)電率75～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f???????? *無(wú)有機(jī)化合物 |
| 冷卻水溫度 | ℃ | 18～22 | 18～22 | ||
| 冷卻水接管 | Rc1 | Rc1 | |||
| 電源供應(yīng) | V/Hz | 3～380v±10%; 50Hz±5Hz??三相五線(xiàn)制 | |||
| 機(jī)組額定輸入功率 | kW | 12.5 | 12.5 | 4 | 4 |
| 機(jī)組運(yùn)行最大電流值 | A | 23 | 23 | 7 | 7 |
| 機(jī)組噪音值 | dB(A) | ≤80 | ≤75 | ||
| 機(jī)組最大輸入功率 | kWA | 15 | 8 | ||
| 冷媒/充注量 | Kg | R410A/5 | R410A/4 | ||
| 安全保護(hù)功能 | 電源過(guò)欠壓、逆缺相保護(hù)； 電機(jī)過(guò)熱載保護(hù)；壓縮機(jī)排氣溫度過(guò)高保護(hù)、 系統(tǒng)高壓保護(hù)、系統(tǒng)低壓保護(hù)、溫度模塊故障保護(hù)、可調(diào)式超溫保護(hù)，風(fēng)機(jī)電機(jī)過(guò)熱保護(hù)等 | ||||
| 機(jī)組凈重 | Kg | 750 | 800 | 650 | 680 |
| 機(jī)組毛重 | Kg | 800 | 850 | 700 | 750 |
| 機(jī)組外形尺寸(L*B*H) | cm | 213*100*200 | 120*120*195 | ||
| 機(jī)組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 230*115*210 | 135*135*205 | ||
迷你型精密恒溫恒濕機(jī)組
在?種專(zhuān)為局部?質(zhì)量空間提供?精度空?處理系統(tǒng)的設(shè)備，該系統(tǒng)能夠最?限度地減少對(duì)能源的使?。
| 產(chǎn)品型號(hào) | LMW-01BS | LMWX-01BS | LMW-03BT | LMWX-03BT | |
| 額定處理風(fēng)量 | m3/min | 0.7～1.0 | 2.0～4.0 | ||
| 可設(shè)定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 21～26 | 21～26;45%RH～60%RH | 21～26 | 21～26；45%RH～60%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1.0%RH | / | ±1.0%RH |
| 最大制冷量(50/60Hz） | kW | 0.2/0.25 | 0.37/0.45 | 1.3 | 1.3 |
| 再熱能力(50/60Hz） | kW | 0.1/0.13 | 0.4 | 0.5 | 0.7 |
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 0.8 | / | 2.3 |
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10～40 | / | 10～40 |
| 加濕補(bǔ)水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補(bǔ)水壓力值 | bar | / | 0.3～2 | / | 0.3～2 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導(dǎo)電率125～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f???????? *無(wú)有機(jī)化合物 | / | *導(dǎo)電率125～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f????????? *無(wú)有機(jī)化合物 |
| 最大機(jī)外送風(fēng)靜壓 | Pa | 120/130 | 120/160 | 110/150 | 110/150 |
| 送風(fēng)口接管直徑 | mm | φ75 | φ100 | φ100 | φ100 |
| 設(shè)備使用環(huán)境溫度 | ℃/ %RH | 20～26；45%RH～60%RH | |||
| 使用環(huán)境溫度精度范圍 | ℃/ %RH | ±1；±5%RH | |||
| 電源供應(yīng) | V/Hz | 1～220v±10%; 50/60Hz±5Hz | 3～380v±15%; 50Hz±5Hz | ||
| 機(jī)組額定輸入功率 | kW | 0.32/0.34 | 1.2/1.2 | 0.75 | 2.7 |
| 機(jī)組運(yùn)行最大電流值 | A | 1.7/1.82 | 6.4/6.4 | 1.35 | 4.8 |
| 機(jī)組噪音值(50/60Hz） | dB(A) | 54/56 | 58/60 | 65 | 66 |
| 機(jī)組最大輸入功率 | kWA | 0.34/0.38 | 1.5/1.5 | 1.4 | 4 |
| 冷媒/充注量 | Kg | R134A/0.13 | R407C/0.3 | R410A/0.4 | R410A/0.48 |
| 機(jī)組凈重 | Kg | 32 | 69 | 95 | 135 |
| 機(jī)組毛重 | Kg | 40 | 85 | 110 | 150 |
| 機(jī)組外形尺寸(L*B*H) | cm | 50*41.2*34.6 | 63*39*76.5 | 59*48*107 | 68*52*135 |
| 機(jī)組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 60*50*40 | 75*50*85 | 70*60*120 | 78*65*140 |
1、溫度和濕度控制范圍并不一定代表實(shí)際可控制的范圍。實(shí)際可控制的溫度和濕度范圍取決于進(jìn)氣溫度和濕度以及工藝風(fēng)量。根據(jù)操作環(huán)境設(shè)置工藝風(fēng)量。
2、對(duì)于M01/02系列，當(dāng)進(jìn)氣溫度和濕度穩(wěn)定時(shí)。控制器上顯示的精度值僅適用于出口端的一點(diǎn)；同時(shí)是在最大額定風(fēng)量下運(yùn)行時(shí)。 對(duì)于M03系列，在以額定工藝風(fēng)量（3 m3/min）運(yùn)行時(shí)，開(kāi)始運(yùn)行后大約2分鐘內(nèi)，由于壓縮機(jī) 油回流，溫度會(huì)暫時(shí)波動(dòng)。此外，如果目標(biāo)濕度較高，并且根據(jù)加濕水供應(yīng)的時(shí)間不同，可能無(wú)法維持之前提到的精度。在這種情況下，通過(guò)調(diào)整與供水相關(guān)的參數(shù)，可以減少波動(dòng)量。
3、在最大額定工藝風(fēng)量下運(yùn)行時(shí)，送風(fēng)機(jī)出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓。
4、將產(chǎn)品插入專(zhuān)用插座以防止電壓下降，三相電源電壓相位不平衡應(yīng)小于±3 %。
5、在指定范圍內(nèi)最大工作電流下運(yùn)行時(shí)。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50050-95；備注 40°f相當(dāng)于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示數(shù)值是在指定最大加濕水平運(yùn)行時(shí)的。有關(guān)可能的詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱操作手冊(cè) 備注：送風(fēng)管道必須保溫處理，現(xiàn)場(chǎng)安裝盡可能的縮短管路長(zhǎng)度（最大長(zhǎng)度不超過(guò)3m)
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
體封測(cè).jpg)
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
航空航天材料|試驗(yàn)裝置控溫解決方案
在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)航空航天材料的要求也越來(lái)越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
LQ -40℃/-75℃
| 型號(hào) | LQ-4015 LQ-4015W |
LQ-4030 LQ-4030W |
LQ-4060 LQ-4060W |
LQ-40100 LQ-40100W |
LQ-7515 LQ-7515W |
LQ-7530 LQ-7530W |
LQ-7560 LQ-7560W |
LQ-75100 LQ-75100W |
| 氣體流量 | 15m3/h | 30m3/h | 60m3/h | 100m3/h | 15m3/h | 30m3/h | 60m3/h | 100m3/h |
| 最低溫度 | -40℃ | -75℃ | ||||||
| 換熱器材質(zhì) | 標(biāo)準(zhǔn)配置SUS304 含有少量紫銅 | |||||||
| 氣進(jìn)出口徑 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc1/2 | DN50 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc1/2 | DN50 |
| 控制系統(tǒng) | 可編程控制器及模塊 | |||||||
| 顯示與記錄 | 7寸彩色觸摸屏，記錄曲線(xiàn)溫度及報(bào)警情況 | |||||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生谷輪 | |||||||
| ?藝過(guò)程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | |||||||
| 外形尺寸 cm | 54*67*135 | 55*75*155 | 65*85*175 | 75*95*185 | 54*67*135 | 55*75*155 | 65*85*175 | 75*95*175 |
| 斷路器 | 10A | 10A | 10A | 16A | 10A | 16A | 16A | 25A |
LQ -110℃
| 型號(hào) | LQ-A1015W | LQ-A1030W | LQ-A1060W | LQ-A10100W |
| 氣體流量 | 15m3/h | 30m3/h | 60m3/h | 100m3/h |
| 最低溫度 | -110℃ | |||
| 換熱器材質(zhì) | 標(biāo)準(zhǔn)配置SUS304 含有少量紫銅 | |||
| 氣進(jìn)出口徑 | Rc3/8 | Rc1/2 | Rc1 | DN50 |
| 控制系統(tǒng) | 可編程控制器及模塊 | |||
| 顯示與記錄 | 7寸彩色觸摸屏，記錄曲線(xiàn)溫度、壓力及報(bào)警情況 | |||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生谷輪 | |||
| ?藝過(guò)程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | |||
| 外形尺寸 cm | 75*95*175 | 80*120*175 | 100*125*185 | 115*150*195 |
所有設(shè)備額定測(cè)試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
航空航天材料|試驗(yàn)裝置控溫解決方案
在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)航空航天材料的要求也越來(lái)越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller氣體控溫系統(tǒng)
適用范圍
運(yùn)?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測(cè)試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?；?dú)?的制冷循環(huán)?機(jī)組；可連續(xù)?時(shí)間?作，?動(dòng)除霜，除霜過(guò)程不影響庫(kù)溫；
模塊化設(shè)計(jì)，備?機(jī)替換容易（只要?臺(tái)備?機(jī)組即可）；解決頻繁開(kāi)關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問(wèn)題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過(guò)程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡(jiǎn)單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)定好溫度即可?作）
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號(hào) | AI-6535 AI-6535W |
AI-8035W | AI-1055W | |
| 循環(huán)風(fēng)溫度范圍 | -65℃～+125℃ | -80℃～+125℃ | -105℃～+125℃ | |
| 控制模式 | 自適應(yīng)PID控制器 | |||
| 通信 | RS485接口?? MODBUS RTU協(xié)議 | |||
| 溫度反饋 | 溫度反饋 PT100 (進(jìn)口溫度、出口溫度） | |||
| 輸入與顯示 | 7寸彩色觸摸屏?? 溫度曲線(xiàn)記錄顯示? U盤(pán)導(dǎo)出 EXCEL 表格形式 | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | |||
| 加熱功率 | 3.5kW | 3.5kW | 3.5kW | |
| 制冷能力 | 125℃ | 3.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 50℃ | 3.5kW | 3.5kW | 3.5kW | |
| 20℃ | 3.5kW | 3.5kW | 3.5kW | |
| 0℃ | 3.5kW | 3.5kW | 3.5kW | |
| -20℃ | 3kW | 3.5kW | 3.5kW | |
| -40℃ | 2.1kW | 2.5kW | 3.5kW | |
| -60℃ | 1kW | 2.1kW | 3kW | |
| -75℃ | 1kW | 2kW | ||
| -95 | 1kW | |||
| 循環(huán)風(fēng)量 | 550m3/h | |||
| 進(jìn)出風(fēng)接口 | DN125 | |||
| 壓縮機(jī) | 艾默生谷輪渦旋壓縮機(jī) | |||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序短線(xiàn)保護(hù)、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||
| 化霜裝置 | 內(nèi)部安裝有化霜裝置及冷凝水排水裝置 | |||
| 連續(xù)工作 | 可連續(xù)工作 | |||
| 定時(shí)開(kāi)停機(jī) | 可設(shè)定定時(shí)開(kāi)停機(jī)時(shí)間 | |||
| 制冷劑 | R404A R23 | R404A R508B | R404A R23 R14 | |
| 水冷型 W | 1200L/H? 1.5bar~4bar | 1600L/H 1.5bar~4bar | 2600L/H 1.5bar~4bar | |
| 外型尺寸 cm | 55*100*175 | 55*100*175 | 70*100*175 | |
| 重量 | 280kg | 300kg | 360kg | |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 REL 7035 | |||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
航空航天材料|試驗(yàn)裝置控溫解決方案
在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)航空航天材料的要求也越來(lái)越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W |
AES-6035 AES-6035W |
AES-8035 AES-8035W |
AES-A1035W | AES-A1235W |
| 溫度范圍 | -40℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||
| 空氣要求 | 空氣濾清器＜5um? 空氣含油量＜0.1um? 空氣溫濕度：5℃-32℃? 0-50%RH | ||||
| 空氣處理能力 | 10m3/h-m3/h? 壓力5bar-7.6bar | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 控制器 | PLC可編程控制器，標(biāo)配支持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接口，可選擇其他通信協(xié)議 | ||||
| 顯示記錄 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)，循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | ||||
| 主要部件 | 丹佛斯干燥過(guò)濾器、卡斯托電磁閥、丹弗斯壓力控制器、EBM風(fēng)機(jī)（風(fēng)冷）、丹佛斯/艾默生油分離器、SMC過(guò)濾器、艾默生電子膨脹閥、江森壓力傳感器 | ||||
| 壓縮機(jī) | 泰康、都凌 | ||||
| 高溫降溫 | 具備高溫225度直接降溫技術(shù)，滿(mǎn)足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力 | ||||
| 過(guò)程控制 | 具有工件過(guò)程控制，可根據(jù)自創(chuàng)物模型自建樹(shù)算法和一般抗滯后串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制目標(biāo)溫度 | ||||
| 尺寸 cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 54*60*132 | 80*120*175 | 100*150*185 |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
航空航天材料|試驗(yàn)裝置控溫解決方案
在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)航空航天材料的要求也越來(lái)越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
Chiller氣體控溫系統(tǒng)
適用范圍
壓縮空?進(jìn)??體快速溫變測(cè)試機(jī)，內(nèi)置有?燥器，預(yù)先把?體?燥到露點(diǎn)溫度-70度以下，進(jìn)?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對(duì)?標(biāo)對(duì)象進(jìn)?控溫（如各類(lèi)控溫卡盤(pán)、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠(yuǎn)程卡盤(pán)上的溫度傳感器進(jìn)??藝過(guò)程控溫，?動(dòng)調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號(hào) | AET-4025 AET-4025C |
AET-4050 AET-4050C |
AET-4095W AET-4095WC |
AET-7025 AET-7025C |
AET-7050W AET-7050WC |
AET-7095W AET-7095WC |
| 溫度范圍 | ?-40℃～250℃ | ?-75℃～250℃ | ||||
| 控溫精度 | 氣體出口控溫士0.1°C,遠(yuǎn)距離工藝過(guò)程溫度控溫精度士0.5°C可選擇控制出口氣體溫度和工藝目標(biāo)過(guò)程溫度 | |||||
| 升級(jí)溫速率 | 設(shè)備出口氣體溫度升降溫速率大于30°C/min,可做梯度升降溫 | |||||
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量<0.1um 空氣溫濕度:5°C-32℃ 0-50%RH 壓力4bar~8bar | |||||
| 空氣處理 | 22m3/h | 50m3/h | 95m3/h | 22m3/h | 50m3/h | 95m3/h |
| 節(jié)流方式 | 制冷系統(tǒng)采用電子膨脹閥節(jié)流,精準(zhǔn)控制冷量 | |||||
| 控制器 | PLC可編程控制器,標(biāo)配支持ModbuSRTU協(xié)議,RS485接口,可選擇其他通信協(xié)議 | |||||
| 顯示記錄 | 7寸彩色觸摸屏,可顯示氣體溫度、壓力、流量,制冷系統(tǒng)壓力溫度 | |||||
| 過(guò)程控溫 | 自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法與一般抗滯后串級(jí)算法相結(jié)合,控制工藝過(guò)程溫度 | |||||
| 尺寸 cm | 43*46*112 | 52*57*132 | 60*63*160 | 54*69*112 | 65*85*132 | 75*95*160 |
| 備注 | 后綴W代表水冷后綴c代表氣體循環(huán)利用 | |||||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
航空航天材料|試驗(yàn)裝置控溫解決方案
在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)航空航天材料的要求也越來(lái)越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 壓縮空氣干燥器 | |||
| 型號(hào) | DR-300 | DR-600 | DR-1200 |
| 壓力范圍 | ?0.65～1.0Mpa | ||
| 露點(diǎn)溫度 | ?-70℃ | ||
| 處理氣量 | 425L/Min | 900L/Min | 1750L/Min |
| 成品氣量 | 300L/Min | 600L/Min | 1200L/Min |
| 接口尺寸 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 |
| 電源功率 | 220V 15W | ||
| 尺寸 cm | 20*18*125 | 45*18*125 | 45*18*125 |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
航空航天材料|試驗(yàn)裝置控溫解決方案
在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)航空航天材料的要求也越來(lái)越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation