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      半導(dǎo)體封測工藝過程控溫

      冠亞恒溫有豐富的半導(dǎo)體封測行業(yè)產(chǎn)品研發(fā)經(jīng)驗(yàn),豐富的產(chǎn)品線滿足行業(yè)各種控溫需求。

      產(chǎn)品包括:Chiller制冷加熱系統(tǒng),Chiller制冷循環(huán)器,換熱控溫單元,直冷機(jī),Chiller氣體控溫,chamber試驗(yàn)箱等產(chǎn)品。

      解決方案

      SOLUTION

      半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的準(zhǔn)確性和可靠性,還需要對溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

      冠亞恒溫LNEYA提供豐富控溫方式,有直冷、液冷、氣冷三種形式,滿足封測工藝復(fù)雜嚴(yán)苛控溫需求。

      Chiller控溫系統(tǒng)FLTZ系列
      真空溫控卡盤8/12寸Chuck,冷板
      換熱控溫單元ETCU系列
      Chiller直冷機(jī)KSD/ZLTZ/ZLJ系列
      Chamber試驗(yàn)箱老化箱/多層溫箱
      Chiller氣體控溫AES/LQ/AI/AET/DR
      負(fù)壓型溫控機(jī)組ZLFQ-80

      FLTZ變頻Chiller

      —單通道 Single Channel Chiller

      單通道Chiller溫度范圍:-100~+90℃,主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度準(zhǔn)確控制,司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

      LTZ變頻系列Chiller

      —壓縮機(jī)復(fù)疊制冷,溫度低至-115℃

      冠亞恒溫制冷循環(huán)器Chiller溫度范圍從-115℃到30℃,采用二次過冷技術(shù),制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強(qiáng),性能優(yōu)異。

      真空控溫卡盤Chuck

      —8寸卡盤、12寸卡盤、冷板

      冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標(biāo)定制方形冷板,支持-70~+200℃寬溫度范圍,也可以定制各種其他溫度范圍,內(nèi)置多個(gè)溫度傳感器,多區(qū)控溫,F(xiàn)ID調(diào)節(jié)控溫;支持直冷、液冷、?冷;

      Chiller換熱型

      —無壓縮機(jī)換熱機(jī)組

      冷卻水溫度5℃~+90℃,采用ETCU無壓縮機(jī)換熱系統(tǒng),系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等,可以有效減少設(shè)備尺寸,減少操作步驟

      接觸式高低溫測試機(jī)

      —芯片設(shè)計(jì)、芯片生產(chǎn)過程測試

      設(shè)備應(yīng)?溫度范圍-75~+200℃,?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫,最快速率可達(dá)到75℃/min,能夠準(zhǔn)確的控制溫度,誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。

      ZLJ系列直冷機(jī)

      —可運(yùn)用于?體捕集

      將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進(jìn)??標(biāo)控制元件(換熱器)換熱,從?使?標(biāo)控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體(?體)輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上,這樣特別適?于換熱器換熱?積?,但是換熱量?的運(yùn)?場所。

      ZLTZ高效換熱控溫機(jī)組

      —高效換熱,可?動(dòng)回收導(dǎo)熱介質(zhì)

      ZLTZ控溫機(jī)組與微通道反應(yīng)器組合成?放熱量控溫運(yùn)?,同流量?況下相對于導(dǎo)熱油換熱控溫傳熱效率5倍以上,同時(shí)進(jìn)出?溫差?,溫度場均勻性?,特別適合劇烈放熱反應(yīng)的應(yīng)?;

      芯片老化測試箱Chamber

      —芯片高低溫老化設(shè)備

      通過準(zhǔn)確控制溫度、濕度等環(huán)境參數(shù),模擬芯?在實(shí)際使?中可能遇到的?溫、?濕、?應(yīng)?等極端條件,加速芯?的?化過程,通過這種?式,可以在短時(shí)間內(nèi)篩選出早期失效的芯?,優(yōu)化設(shè)計(jì)?案,提升產(chǎn)品良率

      多層試驗(yàn)箱Chamber

      —寬溫度控制范圍-80℃~+150℃

      左右多層試驗(yàn)箱提供溫度范圍-80℃~+150℃寬溫度范圍控溫,空載溫度均勻度±1℃,溫度精度±0.1℃,滿足多樣化場景需求。

      LQ系列氣體冷卻裝置

      —低溫可達(dá)-110℃

      應(yīng)?于將?體(?腐蝕)降溫使?:如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部,出來的?體即可達(dá)到?標(biāo)低溫溫度,供給需求測試的元件或換熱器中。

      AES系列熱流儀

      —升降溫速率快,+150℃?-55℃低于10S

      射流式?低溫沖擊測試機(jī)給芯?、模塊、集成電路板、電?元器件等提供準(zhǔn)確且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試、失效分析、可靠性評估的儀器設(shè)備。

      AET系列氣體快速溫變測試機(jī)

      —可選擇控制出口氣體溫度和工藝目標(biāo)過程溫度

      壓縮空?進(jìn)??體快速溫變測試機(jī),內(nèi)置有?燥器,預(yù)先把?體?燥到露點(diǎn)溫度-70度以下,進(jìn)?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體,對?標(biāo)對象進(jìn)?控溫(如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等),可根據(jù)遠(yuǎn)程卡盤上的溫度傳感器進(jìn)??藝過程控溫,?動(dòng)調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。

      AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)

      —循環(huán)風(fēng)高低溫恒溫測試

      運(yùn)?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?;?dú)?的制冷循環(huán)?機(jī)組;可連續(xù)?時(shí)間?作,?動(dòng)除霜,除霜過程不影響庫溫;

      Dryer氣體干燥器

      —低露點(diǎn)?燥和清潔

      應(yīng)?于傳感器、半導(dǎo)體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運(yùn)輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實(shí)現(xiàn)-80℃低露點(diǎn)?燥和清潔的分布式?源。

      負(fù)壓型溫控機(jī)組

      —實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.3℃

      負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確溫度控制,原理:通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動(dòng)導(dǎo)熱介質(zhì)(?/油)循環(huán),避免泄漏?險(xiǎn),適?于各種類型板卡冷卻。

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