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      Chiller冷熱雙路控溫機組
      

      

      




      

      

      Chiller冷熱雙路控溫機組
      




      




      




      適用范圍
      



      ?于120℃?溫供熱?燥，另?側(cè)25℃冷卻捕集?途，輕松搭建由（夾套罐體+冷凝器+負壓系統(tǒng)）構(gòu)建廢液回收系統(tǒng)?于廢液回收升華控溫，另?側(cè)25℃冷凝捕集整體能效優(yōu)于4.5。
      

      




      




        全國服務(wù)熱線 400-100-3163
      

      

      

      

      




      




      

      
 
      

      

      

      

      




      




      

      

      

      

      產(chǎn)品參數(shù)
      




      Product Parameter
      

      

      




      

      


      
型號
LTH-25

      

      
溫度范圍
熱側(cè) 80℃~125℃
冷側(cè) -15℃~30℃

      

      
控溫精度
±0.5℃

      

      
制熱量
?60kW @120℃
35kW@10℃

      

      
控制器
可編程PLC

      

      
變頻器
ABB變頻器

      

      
壓縮機
渦旋壓縮機

      

      
輸入/顯示
7寸彩色觸摸屏/PLC控制器

      

      
通信
Modbus RTU協(xié)議RS485接口 、以太網(wǎng)TCP/IP協(xié)議

      

      
換熱器
板式換熱器

      

      
系統(tǒng)介質(zhì)
乙二醇水溶液

      

      
接口尺寸
DN40 PN16

      

      
安全保護
具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高低壓保護，過載繼電器、熱保護裝置、排吸氣溫度保護、傳感器故障保護等安全保障功能.。

      

      
電源
380V 50HZ?? 斷路器63A

      
      

      

      

      

      

      

      




      

      

      

      

      行業(yè)應(yīng)用
      




      APPLICATION
      

      

      




      

      

      

      

      

      

      




      




      半導體FAB工藝過程控溫解決方案
      




      

      

      半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。
      




      精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。
      

      

      





      

      

      

      

      




      

      

      

      

      

      




      




      半導體封測工藝過程控溫解決方案
      




      

      

      半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
      

      

      





      

      

      

      

      

      

      

      




      

      


      
	
      
		
		
      
	   
      
		
		
      
	   
      
		
		  
		 
      
		
      
		
      
	
      

      


      
  
      
  
      

      




      


















		
		





        

          

          
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