Chiller 雙變頻

半導(dǎo)體chiller 半導(dǎo)體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍-45℃~90℃
泵壓力6bar max
內(nèi)循環(huán)液容積8L
電源 220V 50/60HZ

半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過(guò)擁有超過(guò)16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶(hù)提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶(hù)定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專(zhuān)業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù)，有助于滿(mǎn)足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號(hào)	FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)		FLTZ-305W/2T 雙系統(tǒng)		FLTZ-406W/2T 雙系統(tǒng)
溫度范圍	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	15~45L/min 6bar
制熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷量	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
內(nèi)循環(huán)液容積	5L		8L		8L
膨脹罐容積	15L		25L		25L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等
制冷劑	R404A/ R448
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4
冷卻水	50L/min at20℃		60L/min at20℃		50L/min at20℃
電源	三相220V / 三相400V /三相460V
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）